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佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，宣称实现高生产率和业界高水平套刻精度:IT之家 11 月 11 日消息，11 月 10 日，佳能在日本东京宣布，将于 2026 年 12 月上旬发售面向存储和逻辑芯片的 KrF（IT之家注：氟化氪）扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”。▲ KrF 扫描式半导体光刻机“FPA-6400ES6a”官方表示，通过新开发的超高加速度载台缩短驱动时间，这款 KrF 扫描式半导体光刻机新产品具备每小时 400 片晶圆的高产能；同时新开发...#rss

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