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中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付 金十数据 11 月 10 日讯，据中微公司消息，近日，中微公司正式发布全新产品——Primo Matrix®双反应台等离子体晶圆切割设备，并宣布首台设备已顺利付运国内重要集成电路封装客户。

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